XR-065F
■XYZ軸ラックピニオンステージは、XY軸移動とテーブル面を垂直方向に移動させるタイプのXYZ軸ステージです。 ■移動分解能は、20mm/回転 で動作致します。 ■駆動方式はラック&ピニオン、移動ガイドはアリ溝式を採用しています。 ■XR-065Fはテーブル面が、フラットなタイプとなっています。垂直面タイプ(XR-085)も選択が可能です。