ナノ表面粗さ・形状計測器「ナノセブン」
ナノセブンは、レーザー光による非接触方式でナノレベルの表面粗さ、うねり、段差高さの形状を広範囲・短時間に計測する事が可能です。
【１．ナノセブン：主な仕様 】
【２．計測範囲と装置位置付け 】
【３．光ヘテロダイン干渉計の原理と精度 】
【４．段差標準ゲージの計測 】
【５．各種計測事例とデータ 】
【６．計測サンプル参考写真と補足 】
１．ナノセブンの主な仕様
・計測は本体・コントロールＢＯＸ・計測用ＰＣで構成されています。
・卓上設置が可能でコンパクトなサイズになっています。
・Ｘ２５ｍｍ×Ｙ２５ｍｍのワイドレンジで計測が可能です。
| 仕様 一覧 | |
| 高さ測定精度 | ０．１ｎｍ（ナノメートル） |
| 基準高さ測定範囲 | ０．５ｎｍ～３００ｎｍ／3µm |
| 計測方式 | 非接触方式 |
| 最大移動量 【※１】 | Ｘ：２５ｍｍ / Ｙ：２５ｍｍ |
| 光源 | 赤色レーザー（波長633nm）
|
| 対物レンズ | 倍率 ２０Ｘ / ＮＡ ０．４ |
| 電源 | ＡＣ１００Ｖ |
| 本体重量 | 約 ２７ｋｇ |
| 付属品 | 制御用PC（制御ソフトウェア）、サンプル用治具 |
| オプション 【※１】 | |
２．計測範囲と装置位置付け
・モデルＴＮ－Ａ１は、各種顕微鏡及び計測装置と比較して広い範囲に有効性があります。
３．光ヘテロダイン干渉計の原理と精度
◇通常の光干渉計測では、その原理にホモダイン干渉が用いられています。
◇同一周波数光の静止した干渉縞の強度を画像解析し計測されます。
◇ナノセブンでは、光ヘテロダイン干渉をその原理とし光学構成されています。
異なる周波数光の動く干渉縞から得られる信号の位相解析し計測されます。
◇光ヘテロダイン干渉法で形成した２つのレーザ光を計測対象へ照射する事で光の位相が発生します。
◇この光の位相差を電気的に検出する事で光波長を高さの基準とし図のような測定精度を得て保証しています。
４．段差標準ゲージの計測
『 ＶＬＳＩスタンダード社/SHS段差ゲージ 』
・ナノセブンは8、18、45、85nmの段差標準ゲージを検出計測し校正しています。
・以下の資料では、数値ステップのある基準ゲージを計測した際のデータです。
・計測データは微分プロファイルで表示されています。
５．各種計測事例とデータ
◆ ナノセブンでの計測事例とデータをご紹介しています。
◆右ボタンからお入りください。
６．計測サンプル参考写真と補足
【ＧaＮサンプル ８×１０ｍｍ】
・窒化ガリウム素材
【シリコンウェファーサンプル】
・サイズ φ６インチ
【段差標準ゲージ】
・ＵＳＡ ＶＬＳＩスタンダード社製ゲージ
ナノセブン☆nanotech 2017 新人賞受賞☆
